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凈化車間是對空間內空氣中的微粒做到控制,所構造的特殊封閉性建筑??傮w來說,凈化車間也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。凈化車間對等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一定規范,在國際標準中分為ISO-14644,ISO-14644的等級定義。這里所指的微粒塵埃是肉眼無法看見的灰塵及粒子,一般空氣清凈機無法完全清除之灰塵。凈化車間一般分為電子、精密工業用(ICR);及需控制微生物濃度等制藥、食品產業用。
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在JIS標準中,凈化車間清潔度,分8 個等級,通常清潔度是指空氣的潔凈等級,分為1到8 個階段。在1 立方公尺的空氣中,粒徑0.1 微米的灰塵若是在10 個以下時為1;百個以下是100=102 是等級2;千個以下時是1000=103等級3,以此類推。21 世紀,尖端科技產業的發展,加速了產業結構的變革,凈化車間設立的必要性也相對地提高。產品逐漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對產品的完成度同樣造成極大的危害,導致品質下降,隨著產品的高品質要求,環境無塵化的要求也越來越高。因此在凈化車間中用防塵材料及產品都顯得非常重要。凈化車間屬于人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的快速成長,也增加了對制造環境(凈化車間)潔凈度要求,在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1 微米.也可能阻礙產品的制作或降低其壽命。優于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。所以凈化車間為集成電路制造必不能少的因素。
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