1、隔間

凈化車間隔間分為三大部分,更衣室,千級區和百級區,更衣室與千級區,千級區和百級區均設風淋室(airshower),凈化車間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進入凈化車間時,首先要經過風淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進行吹淋,達到落塵的效果。

2、風系統風系統流程圖

系統采用的是全新風空調箱+FFU 系統：

<1>全新風空調箱結構

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風機和過濾器

千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%。

3、水系統水系統流程圖

冰水系統分為一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12 度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17 度供給干盤管系統.一次側冰水和二次冰水為兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤管:不結露的盤管,因凈化車間溫度在22 度,其露點溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進入凈化車間,所以進干盤管的冰水溫度在12-14 度.

4、控制系統(DDC)溫度:干盤管系統控制

濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量。

正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量。

5、其他系統

不只是空調系統,凈化車間系統中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統,制程排氣系統,檢測標準：

1、氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統或房間的風量檢測。

3、室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

4、自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明潔凈室內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明凈化車間各表明的振動幅度。

9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測凈化車間的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測凈化車間中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。

10、總風量和新風量的檢測。